《星河智源：2024年光刻机技术全景报告（37页）.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《星河智源：2024年光刻机技术全景报告（37页）.pdf（37页珍藏版）》请在本站上搜索。 1、光刻机制作人：星河智源报告生成时间：2024-08-26星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化专利转化概况趋势展力示该术领域逐年公转化开的升申请、升授权及请、对应率域开的公转化请、升（率域开的升当/开的升）。公域较多展力示该术份为）热公域较度开 的概况高新，上可以展力示该术反映研发投高新概况/入呈映由请、公于明周度转化逐年期长具有延度后性因2-此域公开的升近请、对，3和能/开的域偏低开的请、请、类型20占比15644此82比全部此2920占6156.64占260部全比920占.156全240此比8部24920占815全占8比6.6占部.6920占全15占占0比.0占6此部449202、2015占比048全此比全部此89202占15占682860比占部占此9202215占8比全6比2此比部0.9202此15204062占此0部4492024156此占.此占占部比.9星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化偏低趋势展力示该术公转化偏低%7度映由近分布技低实用3申是功高公科技度结构外观实权设计结构公科技/产品映由类型一热度般科技越为一热则分布技低程；设计公侧重量则设计小偏。申改技种更换公代快结构外观和。/偏低行升映由转化占此.占.分布技低248此结构外观.2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果业数法律转化长状延多长状公转化，上布呈态、度效状转化力示维失不业数再3、受度保护转化，上不审时再受度请、有失态、/效状中后可以临原公力示主体申水平主体 管/业数法律行升长状.比8此理状4比比6等保4占此此星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示生无于明趋势转化开的升在转化开的人行升命时间公与随推移果公而利/%变率情力示该术生无于明析前所处度与阶段测力示映趋未来/方命时间向周度开的升近开的 人行升如增都创新度大由展转化力示前呈向周明/入呈转化逐年公具有延度因幅域公开的升近开的人行升，3和能/开的域开的升开的人行升20占比6442比820占66.62比比20占.6全2此0820占8全占8此.此20占全占占0比4482020占比046占占202占占682.6此4、2022占8比全848202此2040全此020246此占4占2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化开的护表两国%7趋势展力示该术等护表省两国公转化开的升%7/开的升）增公市术度展各市区地长通常力示相关度通常力示公反集）多群量/究先一颜大由开的升一。度色 深鼠标定位程度究先到右条势权及公开的升度各会护通及开的升公市术显右热图/各术开的升高也此866亮海200比江苏占6全2北京占比全此广亮84.东浙.8占安徽624四江比全8川湖4比6陕西亮此全8黑京此26龙山此占.吉林2此.福建20此四天202津南占64；辽占比0亮湖占0全河江全4河天84北湖.0黑湖68宁庆44甘天4占护表肃云25、0台湾占此贵州内8也天8护表蒙古.南香6技港4夏也占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示%变力示功成趋势展力示该术临疆力示%青公转化%7/转化升）。公力示%青度科技份为通权）热度率情力示该术公要支空，3实白等机右/%偏点鼠潜转化行升号0此义.（20部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（00当印2006部0占B比0占占号0此义全（00中申州申版申备申会片大框公权纹面鼠标度准方或例各应号0此义.（22自群则备通州公制曝发号0此义占（00则等其制布公备通复外曝护公发号0此照2.（00当印2006部0占B880号0此义.（00会片框度准方度复动大框公备通制方光刻优刷则会片框备6、通制布公工艺度方：材光料含致抗公工艺则会片框备通制公转布外曝应布呈蚀剂优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0占B4.全置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量产组公光刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B4此此照8占见占（00等掩贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占见此（00自群当印2006部0占B406置0占C此占（占8部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业面外曝印2006部0占B此64置0占C2占（6.部转系统布呈等制膜面前平器越护前平包步原面件过原这些公基殊则转系7、统电呈等包步原面件过原这些面5些公制膜面前平器越护前平固公基殊印2006部0占B此占8置0占C2占（此此6部部部部部部合长晶带绝公印2006部0占B此占此置0占C2全（06部部缘F栅法市%公则缘省包步原市术公栅法申通权按形面尺殊市%公印2006部0占B2全8号0此义.（004部寸光工艺应号0此义.（占2度号0此义.（占4自群当印2006部0占B2比此星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示%青开的概况趋势展力示该术等临疆力示%青公转化开的移果而利度开的概况高新区地多展力示该术等率情力示%青高公力示反映份为）热/入呈转化逐年公具有延度后性 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质量成促进果开的人%变开的人存储趋势展力示该术开的人公转化升存储而利/科技成促伴排）。公转化开的人度区地等展力示该术期长）感公某强自况/开的人转化行升高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股占442院华哈优快增限此60护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股此06际学增限2.4护表助限司光件力示反集析26占高也学 圆件积长团逐股2比8护表助限司圆件积反集析22全学护助力增限2占全湖东件积助力增限2占此江苏学密路助助力子较长15、团逐股占全占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化相护为趋势展力示该术转化开的升名累t占0公开的人o长公转化升通权呈展力示该术转化开的p升公类型/类型一热持由转化相护为一热度展力示该术卓等力示总 说公，3延一热/入呈转化逐年公具有延度后性因幅域公类型，3长析和垄/开的域转化相护为2004占此部689200比20部4比9200628部2占9200.4占部4092008此6部比比9200全4占部02920占040部00920占占此.部.此920占246部8占920占此此.部0比920占4此4部4此920占比此此部2此920占6此占部66920占.22部占占920占82此部0全920占全16、占.部比692020占.部此比9202占占比部8.92022占2部占69202此8部4892024占0部469星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果技发断差局者趋势展力示该术等临疆力示未来高公技发断差/技发断差多：披等器露比域贵仅等通常力示未来开的转化公开的人/转化开的概况高新一换度区地大由展技发 断差长改热公某强/入呈转化逐年公具有延度后性因幅域公开的升，3和能/开的人2020202占2022202此2024高也去才光限助力长团逐股占0占2此00镭尔应江苏当包步原长团望真逐股2全8000光助尔会应江苏当助力长团逐股000260责尔包步原力示子较长团逐股2比占比2比4江苏自圆路清阶任力17、示反集长团逐股占0.2000四江粤控黑分九峰00此占全占北京助验光限力示子较长团逐股占此.占8比0高也相成件芯基曝工艺设快科技护室长团逐股占6占占全80技视京应高也当助力长团逐股占020占比比安徽心源毅尔助力长团逐股比6占占00星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果电作开的%变趋势展力示该术临疆电作常造授电作开的升/电作常造）。公开的人度区地权呈力示电作大鸿鼎改感公现出度，上意 愿帮白等公力示电作竞争/开的人电作开的人电作开的行升高也学 圆件积长团逐股高也学 圆件积长团逐股2比8高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股占442 高也圆热路清机精优越长团逐股.18、全 学护助力增限比 高也寻找包步原力示长团逐股4 高也隐区增限此 院华哈优快增限2护表助限司光件力示反集析护表助限司光件力示反集析26占 成如冠 路清光件交这制膜长团逐股4 件积助力增限4 广亮增限此 湖天助力增限2护表助限司圆件积反集析护表助限司圆件积反集析22全 镭尔应江苏当包步原长团望真逐股此.护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股占此 亮海护助同尔助力长团逐股2 亮海仪君物反集映趋护室2 江未相成件芯力示科技护室应江苏当长团逐股占 周亮卓鑫助力长团望真逐股占护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股护尔表滨相成件芯制膜应高也当长团逐股此06 护尔表滨相成件芯制膜应江苏当长团逐股占此全 护表助限19、司圆件积反集析占此 护尔表滨相成件芯制膜应福建当长团逐股比 联网护尔相成件芯制膜子较长团逐股此 护尔表滨相成件芯制膜应颜绍当长团逐股2 江苏增限占江苏学密路助助力子较长团逐股江苏学密路助助力子较长团逐股占全占 际学增限占04 江苏自圆路清阶任力示反集长团逐股此.学护助力增限学护助力增限2占全 四江光兴分九峰6 高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股比 四江亮圳分九峰此 谷固助力子较长团逐股2 颜绍学护助力增限反集司2 高也圆件积基曝长团逐股占 护表助限司颜绍群量力示反集司占 天未助力增限占 龙山两城化泰光助力长团逐股占院华哈优快增限院华哈优快增限此60 高也圆件积基曝应相微当子较长团逐股2 院优增20、永湾反集司2 江苏激星郑卫优越反集析占 院优增机这人应护黑当理人基曝在人优智3反集司占际学增限际学增限2.4 江苏学密路助助力子较长团逐股占04 江苏学密路助助力长团逐股占0 广亮际学环延件积力示反集司比 高也圆件积基曝长团逐股4 境柔生仪相微长团逐股4 江苏博奥助力长团逐股此 冠未神验力示子较长团逐股此 江苏学目技3例 助力映趋长团逐股2 心威睿路清优快应颜绍当长团逐股2湖东件积助力增限湖东件积助力增限2占此 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